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基于266 nm DUV輻射源的高功率,高重復率 超快光纖激光器

2019-03-21

高功率、超快速、高重復率的深紫外(DUV)相干輻射由于其在超快時間分辨測量、激光燒蝕、光刻和生物醫學等方面的廣泛應用而存在巨大的需求。近日,來自印度物理研究實驗室的科研團隊報導了一種獲得緊湊、高功率、高重復率和超快速的深紫外(DUV)輻射源的方法。在該方法中,使用1064 nm的Yb光纖激光器以78MHz的重復頻率通過兩級單通倍頻來產生260fs的輸出脈沖,繼而得到了266 nm的超快DUV輻射。光纖激光器首先使用LBO晶體倍頻為532nm的綠光,其輸出功率高達2.4 W,轉換效率約為50%。產生的532nm綠光在BBO晶體中進一步倍頻,得到輸出功率高達616mW,近紅外到DUV轉換效率約為12.8%的266nm DUV輻射,該團隊測量了532nm 綠光和DUV在2.5小時內的峰峰功率只的波動約為4%,同時驗證了在長時間的運行中也不會有任何的降級。


用于產生超快DUV輻射的實驗裝置示意圖

(來源:光譜網



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